掃描電子顯微鏡在微觀領域的研究中是非常實用且必不可少的儀器。經過半個多世紀的發(fā)展，掃描電鏡的功能已經得到了很大完善，它可以與許多儀器聯(lián)用，不僅可以觀察樣品的形貌，也可以對樣品成分或晶體結構進行分析。

在分析測試之前，制備一個好的樣品就顯得尤為重要了，掃描電鏡制樣的好壞直接關系到圖像的拍攝、觀察和對圖像的分析。如果樣品制備得不合適，沒有達到掃描電鏡的觀察條件，即便所使用的掃描電鏡性能再好也很難拍攝出滿意的圖像和得出準確的分析結果。

相較于透射電鏡而言，掃描電鏡的樣品制備過程就顯得簡單多了。那么掃描電鏡對樣品的要求有哪些呢？

首先樣品要保持干燥，不會被電子束分解，在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好，能提供導電和導熱的通道。樣品的大小或者厚度需要適用于樣品臺的安裝，觀察面要清潔，沒有污染物。若需要進行微區(qū)成分分析，樣品的表面還應該要平整。帶有磁性的樣品要預先去磁，以免觀察時電子束受到磁場影響。如果不去磁，磁性顆粒很容易吸附到掃描電鏡的尤靴上，會對電鏡的分辨率造成影響，所以需要先消磁再上機測試。

掃描電鏡如何制樣？

1.塊體樣品。直接可以用導電膠粘在樣品臺上測試，若需拍塊體或者薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以通過剪刀裁剪或者液氮脆斷兩種方式來制備樣品。

圖1 塊體樣品制備流程

2.液體樣品。用移液槍取樣品超聲后的懸濁液，滴一滴于硅片、錫紙或鋁箔上，自然風干、烘箱烘干或者紅外燈烘干即可，烘干后將硅片、錫紙或鋁箔用導電膠粘在樣品臺上測試。

圖2 無需分散制樣的顆粒樣品制備流程

3.粉末樣品。方式一是直接用導電膠粘在樣品臺上測試；方式二是乙醇分散制樣，取少量樣品于離心管中，加入一定量無水乙醇或者水，室溫超聲五到十分鐘，超聲后采用液體的制樣方式制樣即可。

圖3 需要分散制樣的樣品制備流程

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡對樣品適應性強，操作便捷、快速成像、性能穩(wěn)定，掃描速度快。只需要鼠標就可完成所有的操作，不需對中光闌等復雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。

文章來源：麥迪森Madison